高纯度气体(High purity gas)
高纯度化学品 (High purity chemicals)
除害设备(Local scrubber)
酸性气体处理装置-Z型(干式)
处理气体: HCl,Cl2,HF,F2,HBr,SiCl4,SiF4,etc.
PFC气体处理装置-PF型(干式)
处理气体: PFC类 [ CF4,C2F6,C5F8等 ]
HFC类 [ CHF3,CH2F2等 ],SF6,HF,CO,etc.
PFC气体处理装置-CD型(催化水洗式)
处理气体: PFC类 [ CF4,C2F6,C5F8等 ]
HFC类 [ CHF3,CH2F2等 ],SF6,HF,CO,etc.