高纯度气体(High purity gas)

蚀刻气体

C4F6, CF4, CHF3, CH2F2, C2F6, C3F8, C4F8, CH3F, SF6, BCl3, Cl2, HBr, HCl, etc.

清洗用气体

NF3, C3F8, SF6, C2F6, 20%F2/N2, CO2, HCl, HF, etc.

成膜气体

NH3, N2O, SiF4, H2Se, etc.

用途：

彩色滤光镜清洗，电子靶材清洗，电子部品清洗等

产品列表：

SC-9500，SC-9500R
环己酮
有机去蜡剂，航空煤油
高纯度溶液（MMP,NMP,PGMEA,PGME etc.）

酸性气体处理装置-Z型（干式）

处理气体： HCl,Cl2,HF,F2,HBr,SiCl4,SiF4,etc.

PFC气体处理装置-PF型（干式）

处理气体： PFC类 [ CF4,C2F6,C5F8等 ]
                   HFC类 [ CHF3,CH2F2等 ],SF6,HF,CO,etc.

PFC气体处理装置-CD型（催化水洗式）

处理气体： PFC类 [ CF4，C2F6，C5F8等 ]
                   HFC类 [ CHF3,CH2F2等 ],SF6,HF,CO,etc.